近日，法国市场调查公司Yole Développement从技术的角度分析了MEMS的全球前景。

MEMS技术的发展趋势

作为一种技术趋势，MEMS传感器和执行器不断致力于缩小尺寸、降低成本和提高性能，并正在转向以异构功能集成为关键的系统化。从前端制造到封装、模块和系统集成，整个供应链都朝着混合能力的方向发展。

（来源：Yole Développement）

而向系统级方法的转变以及在同一外壳中使用不同材料和工艺的不同组件（如 MEMS、ASIC、天线和电源）的集成，正在创造对更复杂的 SiP 技术的需求，其目标是提高系统级性能并降低整体功耗。

Yole还观察到，PiezoMEMS制造技术正在不断发展。PiezoMEMS系列产品包括包括喷墨头、BAW、麦克风、扬声器、光学微机电系统、微机电自动聚焦等传感器和驱动器。piezoMEMS制造的经验正在增加，在PVD行业中，溅射技术正成为首选的沉积技术。

此外，MEMS传感器供应商在将MEMS传感器与AI、ML（机器学习）、DL（深度学习）等相结合的应用中，这些领域新的增长机会，以期突破商品化，完善价值链。显然，厂商们正在打造一条将MEMS传感器与边缘（或云）上的 AI/ML/DL 相结合的应用程序。

MEMS传感器的演变

MEMS有着悠久的历史，并不断发展。随着传感器变得更加智能化，未来将是一个令人兴奋的发展加速时期。从几十年前的第一个图像传感器到现在的气体传感器，传感器的能力一直在不断发展。消费者/移动/物联网设备的下一个维度将是增加更多的感官。我们还没有看到味觉传感器，但情感感应已经出现了。让我们静待MEMS的下一步发展。